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      EBABA荏原株式會社高節(jié)能性能干式真空泵
      產(chǎn)品簡介:

      EBABA荏原株式會社 高節(jié)能性能干式真空泵
      EBABA荏原株式會社高節(jié)能性能干式真空泵

      產(chǎn)品型號:EV-M505SF

      更新時間:2025-07-10

      廠商性質(zhì):代理商

      訪問量:254

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      EBABA荏原株式會社高節(jié)能性能干式真空泵

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      • 荏原 (EBARA) 高溫技術(shù)支持高負荷工藝,在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池的制造過程中會產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物。 由于其高節(jié)能性能,可以處理高負載過程并同時節(jié)省能源。 標(biāo)配耐腐蝕材料,還提供排量為 110,000 L/min 的大排量型號。 憑借根據(jù)工藝條件的豐富產(chǎn)品陣容,可以處理各種高負荷工藝。

      荏原(Ebara)的干式真空泵在多個行業(yè)都有廣泛應(yīng)用,以下是一些主要的行業(yè)領(lǐng)域及應(yīng)用場景:

      1. 半導(dǎo)體與電子行業(yè)

      • 晶圓制造:用于化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、刻蝕、離子注入等工藝,需高真空環(huán)境且避免油污污染晶圓。

      • 封裝測試:在芯片封裝過程中提供真空環(huán)境,確保封裝密封性。

      2. 平板顯示行業(yè)

      • OLED/LCD 制造:用于沉積有機材料、濺射金屬電極等工藝,要求無油真空環(huán)境以保證顯示面板的純凈度。

      3. 光伏行業(yè)

      • 太陽能電池生產(chǎn):在 PECVD(等離子增強化學(xué)氣相沉積)、擴散爐等設(shè)備中提供真空,助力高效電池制造。

      4. 化工與制藥行業(yè)

      • 蒸餾與干燥:用于溶劑回收、真空干燥等工藝,避免腐蝕性氣體對泵體的損害。

      • 原料藥生產(chǎn):在真空環(huán)境下進行結(jié)晶、分離等操作,滿足醫(yī)藥行業(yè)的高潔凈要求。

      5. 食品與飲料行業(yè)

      • 真空包裝:通過抽真空延長食品保質(zhì)期,干式泵可避免油污污染食品。

      • 濃縮與凍干:在真空濃縮果汁、冷凍干燥藥品等工藝中發(fā)揮作用。

      6. 科研與分析儀器

      • 質(zhì)譜儀:提供高真空環(huán)境,確保離子在無干擾的情況下到達檢測器。

      • 電子顯微鏡:維持樣品室的高真空,保障成像質(zhì)量。

      7. 汽車與機械制造

      • 真空熱處理:在汽車零部件的淬火、退火等工藝中,防止氧化并提高材料性能。

      • 真空成型:用于塑料部件的真空吸塑成型。

      8. 電力與能源行業(yè)

      • 變壓器真空浸漬:去除變壓器油中的水分和氣體,提高絕緣性能。

      • 核工業(yè):在核反應(yīng)堆的冷卻系統(tǒng)、氣體回收等環(huán)節(jié)提供真空支持。

      9. 環(huán)境工程

      • 真空過濾:處理工業(yè)廢水、污泥脫水等,高效分離固液成分。

      • VOCs 回收:從工業(yè)廢氣中回收揮發(fā)性有機化合物,實現(xiàn)環(huán)保與資源再利用。

      10. 其他領(lǐng)域

      • 航空航天:模擬高空環(huán)境測試、衛(wèi)星組件檢漏等。

      • 鍍膜行業(yè):光學(xué)鏡片、太陽能玻璃等的真空鍍膜工藝。


      荏原干式真空泵的優(yōu)勢在于無油污染、耐腐蝕、低維護成本,能適應(yīng)復(fù)雜氣體環(huán)境(如含粉塵、腐蝕性成分),滿足各行業(yè)對真空度、穩(wěn)定性和潔凈度的嚴(yán)格要求。具體選型時需根據(jù)工藝需求(如真空度范圍、抽氣速率、氣體特性)進行配置。







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